온라인 (한국어 세션)

※ 인원제한으로 인해 학회 등록 및 튜토리얼 세션 을 등록한 분들에 한하여 참석하실 수 있습니다.

※ 코로나19 사회적 거리두기 단계에 따라, 온라인 스트리밍(Zoom)으로 전환되었습니다.

※ 2021년 1월 10일(일)까지 최소 수강인원 미달 시 취소 될 수 있습니다.

튜토리얼 세션 1 : 시뮬레이션

진공 환경의 이해와 ICP Dry Etcher 해석
주정훈 교수 (군산대학교)
플라즈마 시뮬레이션의 기본원리 및 FEM을 이용한 적용,
확장 가능성
최희환 교수 (한국항공대학교)
반도체 공정용 플라즈마 장비의 시뮬레이션 방법과 앞으로의 방향
김호준 교수 (가천대학교)

튜토리얼 세션 2 : 분석기술

XPS
전철호 박사 (KBSI)
SIMS
홍태은 박사 (KBSI)
TEM/SEM
장재혁 박사 (KBSI)
XRD
김희진 박사 (KBSI)

튜토리얼 세션 3 : 진단

플라즈마 광진단 및 기계학습에 의한 광학신호 분석
채희엽 교수 (성균관대학교)
플라즈마 전기적 진단법
이효창 박사 (KRISS)

튜토리얼 세션 4 : Atomic Layer Deposition (ALD)

ALD Fundamentals
이한보람 교수 (인천대학교)
ALD 소재 부품 장비
이원준 교수 (세종대학교)
ALD Applications
전형탁 교수 (한양대학교)

튜토리얼 세션 5 : Atomic Layer Etching (ALE)

Plasma Etch Fundamentals
김경남 교수 (대전대학교)
Anisotropic ALE
염근영 교수 (성균관대학교)
Isotropic ALE
채희엽 교수 (성균관대학교)

오프라인 튜토리얼 세션 등록비

※ 학회에 등록하신 분들에 한하여 추가등록 할 수 있습니다.

온라인 등록 바로가기  

Inclusion of VAT

Classification Pre
(11/16~12/21)
Online
(12/22~ 12/31 1/10)
Conference Period
(1/17~1/19)
Conference
+
Online Tutorials
Regular Full Day KRW 300,000 KRW 325,000 KRW 400,000
2 days KRW 225,000 -
Student/Retiree Full Day KRW 150,000 KRW 175,000 KRW 200,000
추가등록 튜토리얼(한국어 세션) KRW 50,000 T1 : 시뮬레이션
KRW 50,000 T2 : 분석기술
KRW 50,000 T3 : 진단
KRW 50,000 T4 : Atomic Layer Deposition (ALD)
KRW 50,000 T5 : Atomic Layer Etching (ALE)
스페셜 세션 (일반) KRW 150,000
스페셜 세션 (학생) KRW 50,000