온라인 (한국어 세션)
※ 인원제한으로 인해 학회 등록 및 튜토리얼 세션 을 등록한 분들에 한하여 참석하실 수 있습니다.
※ 코로나19 사회적 거리두기 단계에 따라, 온라인 스트리밍(Zoom)으로 전환되었습니다.
※ 2021년 1월 10일(일)까지 최소 수강인원 미달 시 취소 될 수 있습니다.
튜토리얼 세션 1 : 시뮬레이션
| 진공 환경의 이해와 ICP Dry Etcher 해석 | 주정훈 교수 (군산대학교) |
| 플라즈마 시뮬레이션의 기본원리 및 FEM을 이용한 적용, 확장 가능성 |
최희환 교수 (한국항공대학교) |
| 반도체 공정용 플라즈마 장비의 시뮬레이션 방법과 앞으로의 방향 | 김호준 교수 (가천대학교) |
튜토리얼 세션 2 : 분석기술
| XPS | 전철호 박사 (KBSI) |
| SIMS | 홍태은 박사 (KBSI) |
| TEM/SEM | 장재혁 박사 (KBSI) |
| XRD | 김희진 박사 (KBSI) |
튜토리얼 세션 3 : 진단
| 플라즈마 광진단 및 기계학습에 의한 광학신호 분석 | 채희엽 교수 (성균관대학교) |
| 플라즈마 전기적 진단법 | 이효창 박사 (KRISS) |
튜토리얼 세션 4 : Atomic Layer Deposition (ALD)
| ALD Fundamentals | 이한보람 교수 (인천대학교) |
| ALD 소재 부품 장비 | 이원준 교수 (세종대학교) |
| ALD Applications | 전형탁 교수 (한양대학교) |
튜토리얼 세션 5 : Atomic Layer Etching (ALE)
| Plasma Etch Fundamentals | 김경남 교수 (대전대학교) |
| Anisotropic ALE | 염근영 교수 (성균관대학교) |
| Isotropic ALE | 채희엽 교수 (성균관대학교) |
오프라인 튜토리얼 세션 등록비
※ 학회에 등록하신 분들에 한하여 추가등록 할 수 있습니다.
Inclusion of VAT
| Classification | Pre (11/16~12/21) |
Online (12/22~ |
Conference Period (1/17~1/19) |
||
|---|---|---|---|---|---|
| Conference + Online Tutorials |
Regular | Full Day | KRW 300,000 | KRW 325,000 | KRW 400,000 |
| 2 days | KRW 225,000 | - | |||
| Student/Retiree | Full Day | KRW 150,000 | KRW 175,000 | KRW 200,000 | |
| 추가등록 | 튜토리얼(한국어 세션) | KRW 50,000 | T1 : 시뮬레이션 | ||
| KRW 50,000 | T2 : 분석기술 | ||||
| KRW 50,000 | T3 : 진단 | ||||
| KRW 50,000 | T4 : Atomic Layer Deposition (ALD) | ||||
| KRW 50,000 | T5 : Atomic Layer Etching (ALE) | ||||
| 스페셜 세션 (일반) | KRW 150,000 | ||||
| 스페셜 세션 (학생) | KRW 50,000 | ||||